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          精密石英
          Thermoelectric semiconductor cooler
          Ferrotec 精密石英

          精密石英

          Ferrotec(中國)精密石英采用高品質進口原材料,經過一系列的先進加工工藝處理而成,歷經20余年的研發生產,Ferrotec可批量生產12",8"以及8"以下半導體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產品的研發能力。同時能夠根據客戶要求選用合適的原材料進行加工生產。
          精密石英分類
          Ferrotec(中國)為滿足客戶需求,可生產多種多樣的石英產品,依托精密的加工技術、焊接技術、表面處理(洗凈)技術三大核心技術優勢以及具有全球化視野的專業技術團隊支持,為客戶量身打造高品質產品。
          石英管類
          石英管類
          主要包括反應管,內管,外管,爐管,噴射管等產品;主要應用于半導體擴散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設備,對裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。
          石英舟類
          石英舟類
          分為5寸,6寸,8寸,12寸各類規格舟,應用于各類表面處理工藝設備、濕法洗凈工藝中,舟類產品直接裝載硅片,并大多應用于自動上下片工藝中,所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。
          石英機加工類
          石英機加工類
          包括各種環、圓盤等產品,主要應用于半導體硅片刻蝕、沉積等工藝,對尺寸精度、潔凈度、外觀狀態等方面的要非常高,部分產品不允許返修,必須一次成型,所以對加工能力要求高。
          石英治具類
          石英治具類
          主要有裝載盤、底座、封蓋等產品;應用于各種半導體處理工藝的輔助設備中,其精度視應用的工藝而定。
          石英洗凈類
          石英洗凈類
          包括石英槽、石英支架等產品,主要應用于半導體濕法洗凈工藝,精度相對不高,但對外觀、潔凈度有較高的要求。
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          耐熱性
          耐熱性
          透光性
          透光性
          高純度
          高純度
          電氣絕緣
          電氣絕緣
          化學穩定
          化學穩定
          Ferrotec精密石英優點
          耐熱性、透光性、高純度、電氣絕緣、化學穩定高。高精度的石英制品不僅為300nm半導體芯片制程提供可靠保障,也能滿足太陽能光伏行業在擴散制程中對低鐵、低銅的要求,被廣泛應用于半導體擴散刻蝕工藝、光纖預制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業領域。
          Matrix diagram of applications in various fields
          各領域的應用之矩陣圖
          半導體相關
          精密石英

          半導體晶圓制作擴散,刻蝕等工藝;

          半導體晶圓濕法洗凈工藝;

          半導體硅片外延EPI等工藝;

          LED制作外延MOCVD,芯片工藝;

          光纖預制棒:制造過程中的爐心管、噴燈,配套緊固件;

          該產品的生產基地
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